质量流量控制器市场规模、份额、增长和行业分析，按类型（热质量流量控制器、科里奥利质量流量控制器、差压质量流量控制器）、按流量元件（液体、气体）、按流量、按最终用户和区域分析， 2024-2031

市场定义

该市场是指专注于精确测量和控制流体或气体质量流量的设备的行业。这些控制器在半导体、制药和化学品等行业中至关重要，用于气体混合、化学计量和过程控制应用。

该报告研究了预测期内影响市场增长的关键驱动因素、行业趋势、区域发展和监管框架。

质量流量控制器市场概述

2023年全球质量流量控制器市场规模为13.272亿美元，预计2024年为14.923亿美元，到2031年将达到35.446亿美元，2024年至2031年复合年增长率为13.15%。

高性能应用中对流体和气体流量的精确控制的需求不断增长，推动了对质量流量控制器的需求，特别是在半导体、制药和生物技术等行业。

质量流量控制器行业的主要公司有 Brooks Instrument、MKS Instruments、Bronkhorst、Sierra Instruments, Inc.、AALBORG INSTRUMENTS & CONTROLS, INC.、OMEGA Engineering inc.、Teledyne Technologies Incorporated.、HORIBA, Ltd.、Sensirion AG、TOKYO KEISO CO., LTD.、Alicat Scientific, Inc.、Vögtlin Instruments GmbH、Christian Bürkert GmbH & Co. KG、Azbil Corporation 和 LINTEC。

由于各行业对准确可靠的流量测量的需求不断增长，该市场正在稳步增长。随着制造工艺变得更加复杂并且需要更高的精度，MFC 越来越多地用于提高效率并确保一致的产品质量。

物联网集成、改进的传感器功能和数字通信接口等技术进步正在进一步推动采用。此外，对自动化和流程优化的日益关注继续扩大了成熟行业和新兴行业的市场范围。

• 2023 年 9 月，布鲁克斯仪器推出了第三代 Quantim QMC 科里奥利质量流量控制器，专为催化剂研究、化学中试工厂、半导体加工、光纤生产和薄膜涂层等应用中的超低流量精度而设计，提供增强的诊断、多变量输出和物联网连接。

主要亮点：

1. 2023 年质量流量控制器行业规模为 13.272 亿美元。
2. 预计2024年至2031年该市场将以13.15%的复合年增长率增长。
3. 2023年北美市场份额为35.27%，估值为4.681亿美元。
4. 热质量流量控制器领域 2023 年收入为 6.392 亿美元。
5. 到 2031 年，天然气领域预计将达到 25.564 亿美元。
6. 2023年，低流量细分市场占据49.56%的市场份额。
7. 预计半导体领域在预测期内将以 13.68% 的复合年增长率增长。
8. 亚太地区预计在预测期内复合年增长率为 14.05%。

市场驱动力

“对精度和准确度的需求不断增长”

质量流量控制器市场的主要增长动力之一是对气体和液体流量控制精度和准确度的需求不断增长。行业如半导体制药业依赖于晶圆制造和药物配方等关键流程的精确流量控制，因为微小的偏差都会严重影响产品质量。

更严格的生产标准的实施和应用复杂性的增加正在推动发达经济体和新兴经济体对高度可靠和准确的 MFC 的需求不断增加。

• 2023 年 3 月，盛思锐推出了 SFC6000 质量流量控制器，该控制器采用紧凑、轻量化的设计，具有高重复性、快速响应和准确度。其卓越的性价比和较短的交货时间使其成为优化半导体和过程自动化等多个工业领域的先进高精度环境中的设备的理想选择。

市场挑战

“复杂的校准和维护要求”

质量流量控制器市场的一项重大挑战是复杂的校准和维护要求，特别是对于半导体制造和制药生产等敏感应用中使用的高精度设备。

这些设备必须随着时间的推移保持准确的性能，因此定期重新校准至关重要，这可能既昂贵又耗时。实用的解决方案是采用具有自诊断功能和非漂移传感器技术的先进 MFC，例如基于 MEMS 的系统，从而减少频繁重新校准的需要并确保长期运行稳定性和准确性。

市场趋势

“定制和材料灵活性”

质量流量控制器 (MFC) 市场的一个主要趋势是对定制和材料灵活性的日益偏好。制造商越来越多地提供一系列材料，包括不锈钢、铝和特种弹性体。

这种灵活性使得 MFC 能够针对各种气体类型和应用进行定制，例如半导体或制药行业中的腐蚀性气体。这种定制确保了在各种操作条件下提高兼容性、耐用性和性能，满足不同行业的特定客户需求。

• 2024 年 7 月，Vögtlin Instruments 推出了用于更高流量的 d·flux 气体质量流量控制器，解决了流量超过 200 ln/min 的挑战。它具有先进的电子设备、灵活的材料选择和精确的控制，可确保稳定的气流管理、准确的诊断以及通过蓝牙应用程序轻松配置。

质量流量控制器市场报告快照

市场细分：

• 按类型（热质量流量控制器、科里奥利质量流量控制器、差压质量流量控制器）：由于关键工业和半导体应用中对准确、可靠的流量测量的需求不断增长，热质量流量控制器细分市场在 2023 年收入为 6.392 亿美元。
• 按流量元件（液体、气体）划分：由于气体广泛应用于制药、化学加工和能源等行业，需要精确的气体流量控制，因此到 2023 年，气体细分市场将占据 71.13% 的市场份额。
• 按流量（低流量、中流量、高流量）：由于医疗设备和研究实验室等敏感过程中对精确流量控制的需求不断增加，预计到 2031 年，低流量部分将达到 18.071 亿美元。
• 由最终用户 (石油和天然气、半导体、生命科学、化工、水和废水、食品和饮料、其他）：由于半导体制造和相关技术对精密流量控制的需求不断增长，预计半导体领域在预测期内的复合年增长率为13.68%。

质量流量控制器市场区域分析

按地区划分，市场分为北美、欧洲、亚太地区、中东和非洲以及南美。

2023年，北美质量流量控制器市场份额在全球市场中的份额约为35.27%，估值为4.681亿美元。北美因其先进的半导体、制药和生命科学行业而成为市场的主导地区。

对高精度技术的持续投资，以及对可靠流量控制解决方案的强劲需求，支持了市场的持续增长。 此外，主要市场参与者的存在、完善的供应链以及研发投资进一步巩固了北美作为全球 MFC 市场关键枢纽的地位。

亚太地区质量流量控制器行业有望在预测期内以 14.05% 的复合年增长率实现显着增长。在半导体、电子和制药等行业快速扩张的推动下，亚太地区是市场增长最快的地区。

在技​​术进步和工业自动化的推动下，该地区对高精度流量控制系统的需求不断增长，正在加速市场的增长。

一个此外，中国、日本、马来西亚和韩国等国家制造能力的崛起以及对研发的日益重视也促进了该地区市场的增长。

• 2023 年 9 月，布鲁克斯仪器在马来西亚槟城开设了一家新制造工厂。此次扩建旨在满足质量流量控制器不断增长的需求，特别是在半导体行业。该设施将显着增强布鲁克斯仪器在亚太地区的产能和供应链可靠性。

监管框架

• 在美国受t监管SEMI E27标准，由SEMI（半导体设备与材料国际）制定，为质量流量设备提供了统一的线性定义，确保制造商和用户之间的一致性。该标准广泛应用于半导体制造等需要精确气体流量控制的行业。此外，美国国家标准与技术研究院 (NIST) 在制定影响 MFC 校准和性能验证的测量标准方面发挥着重要作用。
• 在欧盟销售的质量流量控制器必须符合有害物质限制 (RoHS) 指令 2011/65/EU 以及化学品注册、评估、授权和限制 (REACH) 法规 EC 1907/2006。产品在进入市场之前必须带有欧洲合格 (CE) 标志，以确认符合安全、健康和环境标准。
• 中国执行中国RoHS II法规（电气电子产品中有害物质限制管理办法），限制电子元件中的有害物质。中国标准化管理委员会 (SAC) 发布影响 MFC 设计、标签和性能测试的国家标准，以确保工业安全和产品一致性。

竞争格局

在质量流量控制器行业，各公司都专注于创新，以满足对流体和气体流量控制精度日益增长的需求。他们正在开发具有增强功能的先进质量流量控制器 (MFC)，例如更宽的工作温度范围和改进的材料兼容性。

此外，企业正在投资扩大制造能力，特别是在亚太地区，以满足半导体、制药和可再生能源等行业不断增长的需求。他们还通过智能技术和远程监控解决方案增强产品功能。

• 2024年3月，布鲁克斯仪器推出GF120xHT系列高温质量流量控制器，旨在支持高温半导体制造。这款新产品解决了处理固体和液体前体的挑战，具有 45°C 至 150°C 的更宽操作范围，提高了工艺精度。 GF120xHT 具有 EtherCAT 通信、故障检测和无缝集成到客户应用程序等先进功能，可确保可靠、准确的交付。

质量流量控制器市场的主要公司名单：

• 布鲁克斯仪器
• MKS 仪器
• 布龙克霍斯特
• 塞拉仪器公司
• 奥尔堡仪器与控制公司
• 欧米茄工程公司
• Teledyne 技术公司。
• 堀场有限公司
• 盛思锐股份公司
• 东京计装株式会社
• 艾里卡特科学公司
• 沃格特林仪器有限公司
• 克里斯蒂安·布尔克特有限公司
• 阿自倍尔株式会社
• 林得克

最新进展（产品发布）

• 2025年2月，Festo 推出了 VEFC 质量流量控制器，可精确控制高达 200 l/min 的惰性气体。该紧凑型 24 毫米宽装置采用节能压电阀技术和动态流量控制。它专为电子制造、食品生产和半导体行业的应用而设计，提供防篡改的实时数据，以实现高效的氮气利用并降低能源成本。
• 2025年1月，HORIBA STEC 推出了 DZ-107 超薄质量流量控制器，其满量程流量是之前型号的七倍。这种先进的控制器支持半导体蚀刻、沉积和 CVD/ALD 工艺中的高流量应用。它具有 10 毫米的宽度和更大的工作温度范围，可满足行业不断变化的需求。